申请/专利权人：上海德祺顺精密机械设备有限公司

申请日：2023-03-09

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116169075A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2023.05.26#公开

摘要：本发明公开了一种标准SMIFPOD下沉式开启装置及其应用方法，包括安装底板，安装底板上设有电气；安装底板的一侧设有竖直连接的对接立板；安装底部上通过四根立柱连接矩形的通道板；通道板的中心设有矩形的通孔，通孔内活动设有通道门，通道门通过支架延伸臂连接接口门板，通道门通过电气连接设置升降机构；通道门的中心设有连接电机的负载通道开启器，负载通道开启器与电气电性连接，并通过信号连接控制系统；通道板矩形通孔底部设有casstter检测传感器、突片检测传感器和mapping检测传感器。本发明通过模块化的结构，对应不同容器要求只需替换对应模块即可快速改变接口；并通过安装casstter通道接口盘以及人工防护罩替换Opencasstter结构，实现多种使用方式，增加了使用范围。

主权项：1.一种标准SMIFPOD下沉式开启装置，包括安装底板400，所述安装底板400上设有电气402；所述安装底板400的一侧设有竖直连接的对接立板100；其特征在于，所述安装底部400上通过四根立柱101连接矩形的通道板301；所述通道板301的中心设有矩形的通孔，所述通孔内活动设有通道门204，所述通道门204通过支架延伸臂206连接接口门板207，所述通道门204通过电气402连接设置升降机构308；所述通道门204的中心设有连接电机的负载通道开启器201，所述负载通道开启器201与电气402电性连接，并通过信号连接控制系统；所述通道板301矩形通孔的底部设有casstter检测传感器305、突片检测传感器306和mapping检测传感器307。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海德祺顺精密机械设备有限公司 一种标准SMIF POD下沉式开启装置及其应用方法

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