申请/专利权人：天津爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司

申请日：2023-02-15

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN116190489A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/0236;H01L31/0216;B23K26/38;B23K26/70

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2023.05.30#公开

摘要：本发明公开了一种PERC电池背面结构的调整方法，其包括：1提供第一硅片，对所述第一硅片进行制绒、扩散、刻蚀、制备背钝化膜，得到第二硅片；2对所述第二硅片背面的背钝化膜进行激光开槽，形成多条第一激光槽，得到第三硅片；测定所述第二硅片的少子寿命τA，所述第三硅片的少子寿命τB；若τAτB≤4.5，则对所述背面钝化膜工序进行调节；若τAτB＞4.5，则对激光开槽工序进行调节。本发明的调整方法可快速地确认异常工序，优化钝化效果。

主权项：1.一种PERC电池背面结构的调整方法，其特征在于，包括：1提供第一硅片，对所述第一硅片进行制绒、扩散、刻蚀、制备背钝化膜，得到第二硅片；2对所述第二硅片背面的背钝化膜进行激光开槽，形成多条第一激光槽，得到第三硅片；测定所述第二硅片的少子寿命τA，所述第三硅片的少子寿命τB；若τAτB≤4.5，则对所述背面钝化膜工序进行调节；若τAτB＞4.5，则对激光开槽工序进行调节。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 PERC电池背面结构的调整方法

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