申请/专利权人:FEI 公司
申请日:2021-03-23
公开(公告)日:2023-05-30
公开(公告)号:CN113451092B
主分类号:H01J37/065
分类号:H01J37/065;H01J37/15;H01J37/26
优先权:["20200324 US 16/828571"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.05.30#授权;2022.10.28#实质审查的生效;2021.09.28#公开
摘要:一种例如在电子显微镜中使用的带电粒子束源可包含:导电支撑构件,其联接到基座;安装构件,其联接到所述支撑构件且限定孔;以及发射器构件,其收纳在所述孔中且通过围绕所述孔中的所述发射器构件流动的固定液材料层保持。
主权项:1.一种带电粒子束源,其包括:导电支撑构件,所述导电支撑构件耦合到底座;安装构件,所述安装构件耦合到所述支撑构件并且限定孔,所述安装构件进一步包括开口,所述开口是限定在与所述孔连通的所述安装构件的侧壁中的通道,所述通道在朝向所述支撑构件的方向上从所述安装构件的自由端偏移;以及发射器构件,所述发射器构件接纳在所述孔中且通过围绕所述孔中的所述发射器构件流动的固定剂材料层保持,其中所述固定剂材料层的固定剂材料接纳在所述通道中。
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