申请/专利权人：株式会社日立高新技术

申请日：2018-05-22

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN112106168B

主分类号：H01J37/153

分类号：H01J37/153;H01J37/145;H01J37/244

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.01.05#实质审查的生效;2020.12.18#公开

摘要：本发明是一种具备减速光学系统的带电粒子束装置，通过抑制由物镜‑试样间的构造物引起的减速电场的变化和轴偏离，能够降低对照射系统、检测系统造成的不良影响。带电粒子束装置具有：电子源2；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样12的物镜4；使探测电子束加速的加速电极3；设于加速电极内的第一检测器6；在与加速电极之间形成针对探测电子束的减速电场并且探测电子束在其开口通过的减速电极5；以及插入减速电极与试样之间的第二检测器7，第二检测器具有比减速电极的开口大的开口部9，并在开口部的周围设有敏感面8。

主权项：1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：电子源；物镜，其使来自上述电子源的探测电子束聚焦于试样；加速电极，其使上述探测电子束加速；第一检测器，其设于上述加速电极内；减速电极，其在与上述加速电极之间形成针对上述探测电子束的减速电场，并且上述探测电子束在其开口通过；以及第二检测器，其插入上述减速电极与上述试样之间，上述第二检测器具有比上述减速电极的开口大的开口部，在上述开口部的周围设有敏感面，上述第二检测器的最小内径是上述减速电极的开口直径与取得上述第二检测器的最小内径的上述开口部的厚度的和以上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社日立高新技术 带电粒子束装置及带电粒子束装置的检测器位置调整方法

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