申请/专利权人：株式会社村田制作所

申请日：2022-12-09

公开（公告）日：2023-06-13

公开（公告）号：CN116260418A

主分类号：H03H9/02

分类号：H03H9/02;H03H9/13

优先权：["20211209 US 63/287,927"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2023.06.13#公开

摘要：声波谐振器具有压电板，该压电板具有第一表面和第二表面，第二表面面对基板，并且压电板的振膜跨越空腔。导体图案形成在第一表面和第二表面中的至少一个表面上并且具有叉指换能器IDT，该叉指换能器在压电板的振膜部分上具有交错指。交错IDT指的间距或交错IDT指的标记中的至少一个在IDT的区域上变化，以补偿压电板的振膜部分由于工艺引起的变形。

主权项：1.一种声波谐振器，包括：压电板，具有彼此相对的第一表面和第二表面，所述第二表面面对基板，所述压电板的振膜跨越空腔；以及导体图案，设置在所述第一表面和所述第二表面中的至少一个表面上，所述导体图案包括叉指换能器IDT，所述叉指换能器在所述压电板的振膜上具有交错指，其中，交错IDT指的间距或所述交错IDT指的标记中的至少一个在所述IDT的区域上变化，以补偿所述压电板的振膜由于工艺引起的变形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社村田制作所 具有用于机械和工艺补偿的反啁啾叉指换能器（IDT）的横向激发薄膜体声波谐振器

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