申请/专利权人：江苏长光时空光电技术有限公司

申请日：2023-07-18

公开（公告）日：2023-09-01

公开（公告）号：CN116683289A

主分类号：H01S5/183

分类号：H01S5/183

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.09.19#实质审查的生效;2023.09.01#公开

摘要：本发明涉及一种单片多波长输出面发射激光器结构及制备方法。本发明包括衬底；设置于衬底上表面的N型DBR反射镜层；第一有源层，设置于所述N型DBR反射镜层上表面；第一氧化层，设置于所述第一有源层上表面；垂直叠加设置于所述第一氧化层上表面的至少一个中间有源区结构，每个所述中间有源区结构包括由下至上依次设置的中间DBR反射镜层、第二有源层和第二氧化层；P型DBR反射镜层，设置于所述中间有源区结构上；P面电极层，设置于P型DBR反射镜层上表面；N面电极层，设置于所述衬底下表面；其中，所述P面电极层表面设置有中心出光孔，所述第一氧化层和所述第二氧化层对应所述中心出光孔分别设置氧化孔。本发明增加了输出波长的种类且集成度高。

主权项：1.一种单片多波长输出面发射激光器结构，其特征在于，包括：衬底；设置于所述衬底上表面的N型DBR反射镜层；第一有源层，设置于所述N型DBR反射镜层上表面；第一氧化层，设置于所述第一有源层上表面；垂直叠加设置于所述第一氧化层上表面的至少一个中间有源区结构，每个所述中间有源区结构包括由下至上依次设置的中间DBR反射镜层、第二有源层和第二氧化层；P型DBR反射镜层，设置于所述中间有源区结构上；P面电极层，设置于P型DBR反射镜层上表面；N面电极层，设置于所述衬底下表面；其中，所述P面电极层表面设置有中心出光孔，所述第一氧化层和所述第二氧化层对应所述中心出光孔分别设置氧化孔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏长光时空光电技术有限公司 一种单片多波长输出面发射激光器结构及制备方法

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