申请/专利权人：广东思沃激光科技有限公司

申请日：2023-03-30

公开（公告）日：2023-10-03

公开（公告）号：CN116342625B

主分类号：G06T7/11

分类号：G06T7/11;G06T7/187

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.03#授权;2023.07.14#实质审查的生效;2023.06.27#公开

摘要：本发明公开了一种用于LDI曝光设备的gds图形分割方法，其包括：对所述原始gds图形进行分割处理，以将所述原始gds图形分割形成若干第一矩形块；对每一第一矩形块内的每一多边形电路图形进行多边化处理，以将每一第一矩形块内的每一多边形电路图形分解形成至少一个具有预设边数的多边形；对每一第一矩形块进行分割处理，以将每一第一矩形块分割形成若干第二矩形块；本发明通过对原始gds图形进行分割、分解再分割，以有效将原始gds图形分割形成多个小区域的图形以供后续进行曝光处理，有效提升对原始gds图形中细小图形的表征准确度，大大提升LDI曝光设备对原始gds图形的曝光精细度。

主权项：1.一种用于LDI曝光设备的gds图形分割方法，其特征在于，包括如下步骤：读取原始gds图形，所述原始gds图形包含有至少一种形状的多边形电路图形；以第一预设矩形区域为分割区域，对所述原始gds图形进行分割处理，以将所述原始gds图形分割形成若干第一矩形块，每一所述第一矩形块内包含有至少一个多边形电路图形，同一第一矩形块内的所有多边形电路图形共同形成第一电路子图形，所有第一电路子图形共同形成所述原始gds图形；对每一第一矩形块内的每一多边形电路图形进行多边化处理，以将每一第一矩形块内的每一多边形电路图形分解形成至少一个具有预设边数的多边形；以第二预设矩形区域为分割区域，对每一第一矩形块进行分割处理，以将每一第一矩形块分割形成若干第二矩形块，每一第二矩形块内包含有至少一个具有预设边数的多边形，同一第二矩形块内的所有具有预设边数的多边形共同形成第二电路子图形，同一第一矩形块内的所有第二电路子图形共同形成对应的第一电路子图形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东思沃激光科技有限公司 用于LDI曝光设备的gds图形分割方法

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