申请/专利权人：广东思沃激光科技有限公司

申请日：2023-03-30

公开（公告）日：2024-01-12

公开（公告）号：CN116382041B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.12#授权;2023.07.21#实质审查的生效;2023.07.04#公开

摘要：本发明公开了一种用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，其包括：S1、检测第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处是否存在重叠，及沿y方向的拼接处是否存在错位；S2、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿；S3、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿；本发明采用软件补偿的方式代替传统对DMD单元安装位置的调整，有效简化重叠、错位的补偿工序，并能够大大提高重叠、错位的补偿精度，从而大大提升曝光精度。

主权项：1.一种用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，其特征在于，所述gds图形分割形成n个条带图形，n个条带图形依次拼接，设n个条带图形沿x方向从右向左依次拼接，所述用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法包括如下步骤：检测第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处是否存在重叠，及沿y方向的拼接处是否存在错位，其中，i＝1,……,n-1；若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处不存在重叠；若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处不存在错位；依次对所述gds图形的所有条带图形的x方向的重叠和y方向的错位进行补偿后，完成对所述gds图形的补偿调整；其中，所述若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处不存在重叠，具体包括：通过图形倍率缩放或图形倍率运动，分别调整第i个条带图形和第i+1个条带图形的起始曝光位置，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度小于或等于预设重叠长度，测量第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度，并标记为Xi；对第i个条带图形沿x方向的末端进行切割，以切除第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠部分，得到新的第i个条带图形，及将切除得到的第i个条带图形沿x方向的末端拼接在第i+1个条带图形沿x方向的前端，得到新的第i+1个条带图形；沿x方向向左移动新的第i+1个条带图形Xi距离；判断新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度是否完全落入第i+1个对应的曝光场域宽度内，依据判断结果沿x方向调整第i+1个条带图形对应的曝光场域，得到新的第i+1个条带图形对应的曝光场域。

全文数据：

权利要求：

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