申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2021-10-22

公开（公告）日：2023-10-20

公开（公告）号：CN114039262B

主分类号：H01S3/036

分类号：H01S3/036;H01S3/097;H01S3/104

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.20#授权;2022.03.01#实质审查的生效;2022.02.11#公开

摘要：本发明提供一种小型化非链式脉冲DFHF激光装置及其激发方法，其中的装置包括储气模块、智能快速充气模块、激光放电模块、尾气处理与排放模块和中央控制模块，储气模块用于存储工作气体；智能快速充气模块用于将储气模块内存储的工作气体充入激光放电模块；激光放电模块用于对工作气体进行放电产生激光增益，形成激光输出；尾气处理与排放模块用于对激光放电模块放电时产生的工作尾气进行有害成分吸附处理，并将处理后的工作尾气排放到大气中；中央控制模块用于分别对储气模块、智能快速充气模块、激光放电模块、尾气处理与排放模块进行控制。本发明可有效延长激光装置的稳定工作时间，压缩激光装置的体积。

主权项：1.一种小型化非链式脉冲DFHF激光装置，其特征在于，包括储气模块、智能快速充气模块、激光放电模块、尾气处理与排放模块和中央控制模块；其中，所述储气模块用于存储工作气体；智能快速充气模块用于将所述储气模块内存储的工作气体充入所述激光放电模块；所述激光放电模块用于对所述工作气体进行放电产生激光增益，形成激光输出；所述尾气处理与排放模块用于对所述激光放电模块放电时产生的工作尾气进行有害成分吸附处理，并将处理后的工作尾气排放到大气中；所述尾气处理与排放模块包括排气电磁阀、连接管道、真空排放腔体、真空排放腔体压力传感器、真空泵和尾气处理池；其中，排气管口、所述排气电磁阀、所述真空排放腔体依次通过所述连接管道连接，所述连接管道用于将放电腔体排放的工作尾气输送至所述真空排放腔体，所述排气电磁阀与所述中央控制模块连接，用于在所述中央控制模块的控制下控制所述连接管道的通断；所述真空泵用于将所述真空排放腔体内临时存储的工作尾气抽出送至所述尾气处理池；所述尾气处理池用于对该工作尾气进行有害成分吸附；所述真空排放腔体压力传感器与所述中央控制模块连接，用于实时测量所述真空排放腔体内的气压，并发送至所述中央控制模块；所述中央控制模块用于分别对所述储气模块、所述智能快速充气模块、所述激光放电模块、所述尾气处理与排放模块进行控制，实现在单次放电前通过所述智能快速充气模块向所述激光放电模块充入工作气体，在单次放电后通过所述尾气处理与排放模块排空所述所述激光放电模块产生的工作尾气。

全文数据：

权利要求：

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