申请/专利权人：安徽光智科技有限公司

申请日：2022-09-16

公开（公告）日：2023-11-07

公开（公告）号：CN115368031B

主分类号：C03C17/34

分类号：C03C17/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.07#授权;2022.12.09#实质审查的生效;2022.11.22#公开

摘要：本申请公开一种硫系玻璃8‑12um波段高耐久性增透膜的制备方法，其包括步骤：步骤一，开启霍尔离子源对镜片进行离子清洗，设置离子清洗参数；步骤二，离子清洗完成后开始镀制第一至五层，设置镀制过程离子源参数；步骤三，设置镀膜过程中各种材料的蒸发方式、霍尔离子源参数以及蒸发温度，镀膜完成后取出镜片。本公开的方法可以制备出红外长波段8‑12um具有抗中度摩擦的增透膜，且能够保证高的透过率大于等于96％。

主权项：1.一种硫系玻璃8-12um波段高耐久性增透膜的制备方法，其包括步骤：步骤一，开启霍尔离子源对镜片进行离子清洗，设置离子清洗参数；步骤二，离子清洗完成后开始镀制第一至五层，设置镀制过程离子源参数；步骤三，设置镀膜过程中各种材料的蒸发方式、霍尔离子源参数以及蒸发温度，镀膜完成后取出镜片；所述的增透膜系结构为：基底YbF3ZnSGeZnSYbF3ZnSLaF3AFAir；镀制增透膜系时1-6层均使用离子辅助沉积，其中镀1-5层加热温度为150℃，镀第6层LAF3时温度为160-200℃，镀第8层AF时不加热，温度降为100℃以下且不使用离子源。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽光智科技有限公司 硫系玻璃8-12um波段高耐久性增透膜的制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD