申请/专利权人：江苏科技大学

申请日：2022-06-28

公开（公告）日：2023-11-21

公开（公告）号：CN115029769B

主分类号：C30B1/02

分类号：C30B1/02;C30B29/02;C23G1/10;H01L21/768

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.21#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.09#公开

摘要：本发明公开了一种纳米孪晶铜膜转变为单晶铜膜的制备方法，包括以下步骤：1采用酸溶液对纳米孪晶铜膜进行预处理；2将预处理后的纳米孪晶铜膜沿厚度方向夹持于冷夹板和热夹板中进行热处理，冷夹板的温度为‑20℃至30℃，热夹板的温度为200‑300℃；3保持步骤2，待热处理结束后，即得单晶铜膜，所述纳米孪晶铜膜为沿厚度方向具有111择优晶体取向，所述单晶铜膜为沿厚度取向为100晶面取向。本发明所采用的制备方法可在低温下实现由纳米孪晶铜膜到单晶铜膜的转变，可避免热损失，简单易实现，成本低，适合大规模生产。

主权项：1.一种纳米孪晶铜膜转变为单晶铜膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）采用酸溶液对纳米孪晶铜膜进行预处理；（2）将预处理后的纳米孪晶铜膜沿厚度方向夹持于冷夹板和热夹板中进行热处理，冷夹板的温度为-20℃至30℃，热夹板的温度为200-300℃；（3）保持步骤（2），待热处理结束后，即得单晶铜膜；所述步骤（1）中的纳米孪晶铜膜的厚度为10-50μm，纳米孪晶铜膜为沿厚度方向具有（111）择优晶体取向；所述步骤（3）中的单晶铜膜为沿厚度取向为（100）晶面取向。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏科技大学 一种纳米孪晶铜膜转变为单晶铜膜的制备方法

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