申请/专利权人：广州市尤特新材料有限公司

申请日：2023-10-26

公开（公告）日：2023-11-28

公开（公告）号：CN117125974A

主分类号：C04B35/457

分类号：C04B35/457;C04B35/622;C23C14/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.12#授权;2023.12.15#实质审查的生效;2023.11.28#公开

摘要：本发明公开了一种用于太阳能电池行业的FTO靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、以氧化锡粉（SnO2）和氟化锡粉（SnF4）为原料，制备复合粉体；S2、以S1中复合粉体进行成型烧结，得到FTO靶材。本发明FTO靶材制备以氧化锡粉（SnO2）和氟化锡粉（SnF4）为原料经过S1中制备复合粉体具体步骤、以及S2中具体制备靶材的步骤形成的FTO靶材具有导电性和透光性相互协调改进，通过氧化锡粉中加入的石墨烯调节剂协调配合步骤c中二次煅烧后还浸入改性处理，通过二者协调改进，共同协效，产品的导电性和透光性的性能协调性进一步的改进。

主权项：1.一种用于太阳能电池行业的FTO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、以氧化锡粉（SnO2）和氟化锡粉（SnF4）为原料，制备复合粉体；S2、以S1中复合粉体进行成型烧结，得到FTO靶材；其中，S1中制备复合粉体步骤包括：a.氧化锡粉和氟化锡粉按比例混合后，加入还原炉中进行煅烧；b.煅烧处理后，转移至设备中，加入去离子水，先进行球磨，再进行砂磨，得到浆料；c.浆料进行喷雾造粒后，再放入还原炉中进行二次煅烧，得到复合粉体；S2中制备靶材的步骤还包括：s.复合粉体填充加入到模具内，进行压制；压力为200-400MPa；t.压制后放入真空烧结炉，进行高温烧结，冷却后得到FTO靶材，烧结温度为1100-1400℃，升温速率为3-6℃min，降温速率为4-8℃min。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广州市尤特新材料有限公司 一种用于太阳能电池行业的FTO靶材及其制备方法

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