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【发明授权】一种用于太阳能电池行业的FTO靶材及其制备方法_广州市尤特新材料有限公司_202311394278.7 

申请/专利权人:广州市尤特新材料有限公司

申请日:2023-10-26

公开(公告)日:2024-01-12

公开(公告)号:CN117125974B

主分类号:C04B35/457

分类号:C04B35/457;C04B35/622;C23C14/34

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.01.12#授权;2023.12.15#实质审查的生效;2023.11.28#公开

摘要:本发明公开了一种用于太阳能电池行业的FTO靶材的制备方法,包括以下步骤:S1、以氧化锡粉(SnO2)和氟化锡粉(SnF4)为原料,制备复合粉体;S2、以S1中复合粉体进行成型烧结,得到FTO靶材。本发明FTO靶材制备以氧化锡粉(SnO2)和氟化锡粉(SnF4)为原料经过S1中制备复合粉体具体步骤、以及S2中具体制备靶材的步骤形成的FTO靶材具有导电性和透光性相互协调改进,通过氧化锡粉中加入的石墨烯调节剂协调配合步骤c中二次煅烧后还浸入改性处理,通过二者协调改进,共同协效,产品的导电性和透光性的性能协调性进一步的改进。

主权项:1.一种用于太阳能电池行业的FTO靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、以SnO2粉和SnF4粉为原料,制备复合粉体;S2、以S1中复合粉体进行成型烧结,得到FTO靶材;其中,S1中制备复合粉体步骤包括:a.SnO2粉和SnF4粉按一定比例混合后,加入还原炉中进行煅烧;b.煅烧处理后,转移至设备中,加入去离子水,先进行球磨,再进行砂磨,得到浆料;c.浆料进行喷雾造粒后,再放入还原炉中进行二次煅烧,得到复合粉体;S2中制备靶材的步骤还包括:s.复合粉体填充加入到模具内,进行压制;压力为200-400MPa;t.压制后放入真空烧结炉,进行高温烧结,冷却后得到FTO靶材,烧结温度为1100-1400℃,升温速率为3-6℃min,降温速率为4-8℃min;所述步骤a中SnO2粉和SnF4粉纯度均为4N;步骤a中掺杂的氟化粉含量为:1-10wt%;步骤a中SnO2粉和SnF4粉粒度为:20-80um;步骤a中还原炉煅烧温度为:400-550℃;步骤a中煅烧时间为:4-6H;所述步骤b中球磨时间为:8-15H;步骤b中砂磨时间为:2-4H;所述步骤c中造粒后的粉体粒度为:5-40um;步骤c中还原炉二次煅烧温度为:300-500℃;步骤c中二次煅烧时间为:1.5-3H;所述步骤a中还加入SnO2粉总量5-10%的石墨烯调节剂;其中石墨烯调节剂的制备方法为:将3-5份羟基磷灰石加入到10-15份质量分数10%的柠檬酸钠溶液中,然后加入2-4份硅烷偶联剂KH560、1-3份十二烷基苯磺酸钠和0.25-0.45份纳米硅溶胶,搅拌均匀,得到羟基磷灰石液;将石墨烯于石墨烯总量3-5倍的质量分数2%的盐酸溶液中搅拌均匀,水洗、干燥,得到石墨烯剂,将石墨烯剂加入到石墨烯剂总量2-4倍的硝酸钇溶液中混匀,得到改性的石墨烯剂;将改性的石墨烯剂、羟基磷灰石液按照重量比5:2于球磨机中球磨处理,球磨结束,水洗、干燥,得到石墨烯调节剂;所述步骤c中二次煅烧后还浸入改性处理,具体的浸入改性方法为:将二次煅烧后产物浸入到改性液中超声处理,超声功率为350-400W,超声时间为1-2h,超声结束,水洗、干燥,即可;其中改性液的制备方法为:将硅灰石送入到质子辐照箱内辐照处理,辐照结束,得到辐照剂,将辐照剂于110-120℃下热处理5-10min,然后以1-3℃min的速率冷却至50-55℃,送入辐照剂总量2-3倍的氯化镧溶液中搅拌混匀,得到改性液。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广州市尤特新材料有限公司 一种用于太阳能电池行业的FTO靶材及其制备方法

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