申请/专利权人：金宏气体股份有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2023-12-01

公开（公告）号：CN117147761A

主分类号：G01N31/16

分类号：G01N31/16;G01N27/42

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.12.19#实质审查的生效;2023.12.01#公开

摘要：本发明公开了集成电路用超纯TEOS的水分杂质测试方法及检测设备，其中测试方法，包括如下步骤：A、准备标准试剂，标准试剂中包括由标定浓度的碘和二氧化硫；准备至少包括电解电极、测试电极和电流检测设备的库伦检测装置以及滴定装置，电解电极、测试电极在工作状态下置于滴定装置中的溶液中，电解电极、测试电极至少在工作状态下电连接到电流检测设备；B、在滴定装置中加入适量甲醇，在工作状态下加入适量标准试剂至电流检测设备读数恒定，加入需要标定检测的试样，以标准试剂滴定至电流检测设备读数恒定，记录此时所消耗的标准试剂的体积为V4，据此计算得到水分含量。本发明操作方便，操作效率高，有效实现了微量残留水的快速高效搞精度测定。

主权项：1.一种集成电路用超纯TEOS的水分杂质测试方法，包括如下步骤：A、准备标准试剂，所述标准试剂中包括由标定浓度的碘和二氧化硫；准备至少包括电解电极、测试电极和电流检测设备的库伦检测装置以及滴定装置，所述电解电极、测试电极在工作状态下置于所述滴定装置中的溶液中，所述电解电极、测试电极至少在工作状态下电连接到所述电流检测设备；B、在所述滴定装置中加入适量甲醇，在工作状态下加入适量标准试剂至电流检测设备读数恒定，加入需要标定检测的试样，以标准试剂滴定至电流检测设备读数恒定，记录此时所消耗的标准试剂的体积为V4，据此计算得到水分含量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 金宏气体股份有限公司 超纯TEOS的水分杂质测试方法及检测设备

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