申请/专利权人:中国科学院合肥物质科学研究院
申请日:2023-09-08
公开(公告)日:2023-12-08
公开(公告)号:CN117187758A
主分类号:C23C14/32
分类号:C23C14/32;C23C14/35;C23C14/14
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.12.26#实质审查的生效;2023.12.08#公开
摘要:本发明公开了一种FeCrAl基梯度纳米多层结构高熵合金涂层及其制备方法,是利用多弧离子镀与磁控溅射复合的方法在衬底上依次沉积Cr薄膜与AlCr薄膜后,再通过交替沉积单层FeCrAl薄膜和单层FeCrAlTiSiY薄膜形成FeCrAlFeCrAlTiSiY复合膜的多层结构。本发明所得涂层具有高膜基结合力、高硬度、高耐磨性、高热稳定性,满足高熵合金涂层工业应用的要求。
主权项:1.一种FeCrAl基梯度纳米多层结构高熵合金涂层,其特征在于:所述涂层是在衬底上依次沉积Cr薄膜与AlCr薄膜后,再通过交替沉积单层FeCrAl薄膜和单层FeCrAlTiSiY薄膜形成FeCrAlFeCrAlTiSiY复合膜的多层结构。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学院合肥物质科学研究院 一种FeCrAl基梯度纳米多层结构高熵合金涂层及其制备方法
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