申请/专利权人：四川大学

申请日：2023-07-10

公开（公告）日：2023-12-22

公开（公告）号：CN220216051U

主分类号：B08B5/02

分类号：B08B5/02;B08B7/00;B08B15/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种SEM样品台浮尘吹扫装置，SEM样品台浮尘吹扫装置，包括具有封闭内腔的壳体，所述壳体内部设置有定位座，所述定位座上设置有用于SEM样品台定位的定位机构，所述壳体的顶部设置有吹气管，所述吹气管的下端朝向定位座；所述吹气管的上端通过第一管道连接吹气机构，通过第二管道连接有负离子惰性气体供应机构，所述第一管道和第二管道上均设置有阀门；所述壳体的底部设置有抽气机构，所述抽气机构连接有浮尘过滤机构。本实用新型在封闭的腔体中对SEM样品台进行吹扫，防止浮尘进入外界空气中，且采用两种空气先后对SEM样品台进行吹扫，除尘效果好。

主权项：1.SEM样品台浮尘吹扫装置，其特征在于：包括具有封闭内腔的壳体1，所述壳体1内部设置有定位座2，所述定位座2上设置有用于SEM样品台定位的定位机构3，所述壳体1的顶部设置有吹气管4，所述吹气管4的下端朝向定位座2；所述吹气管4的上端通过第一管道7连接吹气机构5，通过第二管道8连接有负离子惰性气体供应机构6，所述第一管道7和第二管道8上均设置有阀门13；所述壳体1的底部设置有抽气机构9，所述抽气机构9连接有浮尘过滤机构10。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川大学 SEM样品台浮尘吹扫装置

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