申请/专利权人：江苏龙恒新能源有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220825242U

主分类号：B08B5/02

分类号：B08B5/02;H01L31/18;H01L21/687;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型公开了扩散前后及氧化用自动化顶齿吹扫装置，包括顶齿组，所述顶齿组包括底座，所述底座上设置有若干个顶齿，所述顶齿组的下方设置有第一气缸，所述顶齿组的一侧设置有风刀，所述风刀包括出风口，所述底座的上端面位于出风口的范围内，所述风刀上固定连接有进风管，所述进风管上设置有电磁阀，所述顶齿组的下方设置有感应装置，所述顶齿组的另一侧设置有收集组件，所述风刀的下方设置有与第一气缸相匹配的第二气缸，所述收集组件包括滑板和收集框架。与现有技术相比，根据本实用新型的供扩散前后及氧化用自动化顶齿吹扫装置，其能够对残留在顶齿组上的碎片进行吹扫，顶齿组在顶出硅片时不易对硅片造成破损。

主权项：1.扩散前后及氧化用自动化顶齿吹扫装置，其特征在于，包括顶齿组，所述顶齿组包括底座，所述底座上设置有若干个顶齿，所述顶齿组的下方设置有第一气缸，所述顶齿组的一侧设置有风刀，所述风刀包括出风口，所述底座的上端面位于出风口的范围内，所述风刀上固定连接有进风管，所述进风管上设置有电磁阀，所述顶齿组的下方设置有感应装置，所述顶齿组的另一侧设置有收集组件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏龙恒新能源有限公司 扩散前后及氧化用自动化顶齿吹扫装置

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