申请/专利权人：安泰科技股份有限公司;安泰科技股份有限公司北京空港新材分公司

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-01-02

公开（公告）号：CN116987977B

主分类号：C22C38/02

分类号：C22C38/02;C22C38/04;C22C38/08;C22C38/00;C22C33/04;C22B9/18;C22B9/20;B21J5/00;C23C14/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.02#授权;2023.11.21#实质审查的生效;2023.11.03#公开

摘要：本发明属于精密合金生产技术领域，涉及一种FMM掩模用铁镍基精密合金材料及合金带材，并进一步公开其冶炼工艺。本发明所述FMM掩模用铁镍基精密合金材料及合金带材，通过在铁镍基合金材料基础上添加稀土元素提高了精密合金带材的纯净度，降低夹杂物和气体含量。本发明所述合金材料加工的合金带材可满足FMM掩模版的加工要求。本发明所述FMM掩模用铁镍基精密合金材料的冶炼工艺，通过对冶炼工艺各步骤的精确控制，有效保障了合金材料及合金带材的加工性能。

主权项：1.一种FMM掩模用铁镍基精密合金带材，其特征在于，由FMM掩模用铁镍基精密合金材料经变形加工制得，所述合金带材具有如下特征：夹杂物尺寸≤3μm，夹杂物数量≤3个mm²；其中，所述FMM掩模用铁镍基精密合金材料，其特征在于，以所述合金材料的总量计，包括如下质量含量的成分：C0.010~0.100%、Si0.01~0.5%、Mn0.30~0.65%、P≤0.02%、S≤0.02%、Ni30.0~50.0%、稀土元素0.0001~0.0020%、气体O≤15ppm、N≤15ppm，剩余为Fe及不可避免的杂质。

全文数据：

权利要求：

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