申请/专利权人：宸沅国际股份有限公司

申请日：2023-07-27

公开（公告）日：2024-01-23

公开（公告）号：CN220380813U

主分类号：G01N1/14

分类号：G01N1/14;G01N1/34;G01D21/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.23#授权

摘要：一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，由数只气压单向阀及数只气压三向阀管接一成液混成槽、一抽送泵、一组过滤器、数只成液供应筒、一质量计、一酸碱值测试计、一导电度计，及一收集槽而成，成液混出槽出口连接抽送泵后，接管分成四路，由此比常见管路增添过滤流路及改善取样管段，达到多方避免回送污染。

主权项：1.一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，与由气压单向阀进行管路连接不同，其特征在于︰由数只气压单向阀及数只气压三向阀管接一成液混成槽、一抽送泵、一组过滤器、数只成液供应筒、一质量计、一酸碱值测试计、一导电度计，及一收集槽而成，成液混出槽出口连接抽送泵后，接管分成四路，第一路串接首只气压单向阀、前只气压三向阀、中只气压三向阀、气压单向阀，经该组过滤器后，再经过气压单向阀送回成液混出槽，第二路于第一路经气压单向阀送回成液混出槽前，叉分接末只气压三向阀及前旁只气压三向阀改送至一只成液供应筒，第三路于第一路未至该组过滤器的首只气压单向阀之前，经旁叉气压单向阀流过质量计，再分接一旁中只三向气动阀，分出一出向经导电度计、气压单向阀流回成液混成槽，且另叉接中只气压三向阀管接前只气压三向阀的另向管端，以及分出另一出向经酸碱值测试计到收集槽，而第四路由前只气压三向阀未分向该组过滤器的另向，再串接前旁只气压三向阀至成液供应筒，复于第三路经过旁叉气压单向阀旁，再旁叉分出各别串经气压单向阀的第一备用及第二备用的成液供应筒。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宸沅国际股份有限公司 晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构

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