申请/专利权人：成都东凯芯半导体材料有限公司;四川东材科技集团股份有限公司

申请日：2023-09-13

公开（公告）日：2024-01-30

公开（公告）号：CN117466732A

主分类号：C07C67/08

分类号：C07C67/08;C07C69/653

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本发明公开了一种ArF光刻胶单体二乙二醇甲醚甲基丙烯酸酯的制备方法，以二乙二醇单甲醚以及甲基丙烯酸酐为反应原料，在加入阻聚剂的条件下，碱催化室温反应得到二乙二醇甲醚甲基丙烯酸酯，避免使用有毒的甲基丙烯酰氯，反应过程操作简单，转化率高，通过碱洗，酸洗等步骤可以得到纯度较高的粗产物；反应过程加入少量阻聚剂可以减少丙烯酸酯产品的自身聚合，提高收率，反应完成后经过蒸馏回收的二氯甲烷可以循环套用，保证产品转化率的同时降低了反应成本。

主权项：1.一种ArF光刻胶单体二乙二醇甲醚甲基丙烯酸酯的制备方法，其特征在于，其反应式如下：

全文数据：

权利要求：

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