申请/专利权人：上海凯来仪器有限公司

申请日：2023-11-08

公开（公告）日：2024-02-02

公开（公告）号：CN117491471A

主分类号：G01N27/626

分类号：G01N27/626

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开

摘要：本发明公开了一种样品表面超痕量杂质的激光剥蚀质谱的检测方法及检测装置，所述检测方法包括：准备标样；送入样品池；预设总剥蚀次数为N，标样剥蚀次数之和为N0，N0≥100，N≥KN0，K≥2；对待测样品进行飞秒激光剥蚀质谱检测；进行混合激光剥蚀，匀化后质谱检测；获取加标检测曲线；计算待测元素含量。本发明可以省去复杂的样品前处理过程，极大缩短了分析时间，减少了前处理过程中引入的污染对分析结果的影响，并且通过超大批量的激光剥蚀和匀化实现对待测样品的在气溶胶体系中高稀释倍率的精确加标，从而可以使用较易获取的标样即可实现对半导体等高纯度样品表面的超痕量杂质的定量检测。

主权项：1.一种样品表面超痕量杂质的激光剥蚀质谱的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：准备第一标样和第二标样，所述第一标样和第二标样中的至少一种待测元素的含量均至少为待测样品中所述待测元素含量的K倍，所述第一标样和第二标样分别包括含量不同的所述待测元素，K≥2；S2：将至少一个待测样品、第一标样和第二标样并列送入样品池；S3：预设总剥蚀次数为N，第一标样和第二标样的剥蚀次数之和为N0，N0≥100，N≥K·N0；S4：根据N对所述待测样品进行飞秒激光剥蚀后对所得的气溶胶进行质谱检测；S5：根据N以及N0对所述待测样品以及第一标样和或第二标样进行飞秒激光剥蚀，将剥蚀所得的气溶胶混合匀化后再进行质谱检测；S6：重复多次步骤S5，各次对所述第一标样、第二标样的飞秒激光剥蚀的次数不完全相同，获取一预设的加标范围内的加标检测曲线；S7：根据所述加标检测曲线计算所述待测样品中待测元素的含量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海凯来仪器有限公司 一种样品表面超痕量杂质的激光剥蚀质谱的检测方法及检测装置

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