申请/专利权人:山东大学
申请日:2023-09-11
公开(公告)日:2024-02-02
公开(公告)号:CN117174676B
主分类号:H01L23/473
分类号:H01L23/473;H01L23/38;H01L23/427
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.02.02#授权;2023.12.22#实质审查的生效;2023.12.05#公开
摘要:本发明提出TEC热能驱动的引射器无泵循环芯片散热装置及方法,涉及芯片散热技术领域。TEC冷端连接冷凝器和歧管微通道;歧管微通道将液态散热工质转变为两相态并输送至气液分离器和二级引射器中;气液分离器将气态散热工质输送至TEC热端,将液态散热工质输送至二级引射器;TEC热端将气态散热工质加热为过热蒸汽并输送至二级引射器中;二级引射器利用过热蒸汽引射第一进口进来的液态散热工质,混合后形成第一两相态工质,并利用第一两相态工质引射第二进口进来的第二两相态工质,将两个两相态工质进行混合并扩压。本发明采用二级引射器装置作为动力驱动装置,经过两次引射达到升压作用,使工质顺利流通,保障了散热循环的有效性。
主权项:1.TEC热能驱动的引射器无泵循环芯片散热装置,其特征在于,包括TEC、歧管微通道、气液分离器和二级引射器,其中:所述歧管微通道内流通有经液态散热工质吸热后转变而成的两相态散热工质,且所述歧管微通道分别连接气液分离器和二级引射器的第二进口;所述气液分离器的气体出口连接TEC热端,TEC热端连接二级引射器的一级喷嘴,以将气体出口输送来的气态散热工质通过TEC热端加热为过热蒸汽,并输送至一级喷嘴中;所述气液分离器的液体出口连接二级引射器的第一进口;所述二级引射器利用一级喷嘴进来的过热蒸汽引射第一进口进来的液态散热工质,混合后形成第一两相态工质,并利用第一两相态工质引射第二进口进来的从歧管微通道输送来的第二两相态工质,将第一两相态工质和第二两相态工质进行混合并扩压,并将扩压后的两相态工质经冷凝为液态后,输送至歧管微通道中。
全文数据:
权利要求:
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