申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

申请日：2023-11-10

公开（公告）日：2024-02-13

公开（公告）号：CN117548371A

主分类号：B07C5/34

分类号：B07C5/34;B07C5/36

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.13#公开

摘要：本发明公开了对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法，包括分拣台，所述分拣台的内部通过转向机构使得分拣板进行转动操作，且分拣台的前后侧均安装有装料箱，分拣台的顶部设置有检测机构，本发明涉及硅片加工技术领域。该对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法，通过设置有转向机构，利用驱动组件的驱动使得驱动板转动，并配合旋转组件的驱使带动齿条的移动，以此实现了支撑杆带动驱动板进行顺时针转动90°或逆时针转动90°的操作，完成下料口的转换，以此在识别完成后同步实现卷边形貌NG或刀口形貌NG产品的区分，提高准确性和操作的效率，防止过程中抽检和非定量目视检查的不足，提升防流出方案管控的有效性。

主权项：1.对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线，其特征在于：包括分拣台1，所述分拣台1的内部通过转向机构2使得分拣板3进行转动操作，且分拣台1的前后侧均安装有装料箱4，所述分拣台1的顶部设置有检测机构5；所述转向机构2中包括驱动板21，所述驱动板21底部的中心处通过驱动组件22驱使转动，且驱动板21的表面通过旋转组件6使得连接板23进行移动，所述连接板23的一侧固定安装有齿条24，所述分拣板3的底部固定安装有支撑杆25，所述支撑杆25的底端贯穿延伸至分拣台1的内部并转动安装在分拣台1的内壁，所述支撑杆25的表面固定安装有齿轮26，且齿轮26与齿条24的表面啮合，且驱动板21顶部开始有进料槽27，且进料槽27的内部设置有推料组件7。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法

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