申请/专利权人：晓睿真空设备(嘉兴)有限公司

申请日：2023-07-20

公开（公告）日：2024-02-13

公开（公告）号：CN220492882U

主分类号：H02N11/00

分类号：H02N11/00;C23C14/35;H02K7/18;H02J7/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.13#授权

摘要：本实用新型涉及一种磁控溅射组件中的可调磁棒自供电装置。目前装置结构主要是采用内部电池供电，或者外部电源引入。前者存在一定的安全隐患；而后者在设计上存在更多的难点。本实用新型包括磁棒整体结构支撑件，所述的支撑件上设置磁铁方管，磁铁方管内放置磁铁，其特征在于所述的支撑件上还设置温差发电组件或涡轮发电组件，所述的涡轮发电组件或温差发电组件连接水管，所述的涡轮发电组件或温差发电组件通过输出接口连接外部电池。本实用新型通过在可调磁棒内部设置涡轮发电组件或温差发电组件实现了电源自给。减少了需要经常充电的工作，提升了系统的可靠性，并减少了维护时间。实现了可调磁棒的免维护、免充电。

主权项：1.磁控溅射组件中的可调磁棒自供电装置，包括磁棒整体结构支撑件8，所述的支撑件上设置磁铁方管5，磁铁方管5内放置磁铁，其特征在于所述的支撑件上还设置温差发电组件或涡轮发电组件，所述的涡轮发电组件或温差发电组件连接水管6，所述的涡轮发电组件或温差发电组件通过输出接口连接外部电池。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 晓睿真空设备(嘉兴)有限公司 磁控溅射组件中的可调磁棒自供电装置

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