申请/专利权人：哈尔滨工程大学

申请日：2023-10-13

公开（公告）日：2024-02-20

公开（公告）号：CN117572027A

主分类号：G01Q60/00

分类号：G01Q60/00;H10N60/85;H10N60/12;G01Q70/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.08#实质审查的生效;2024.02.20#公开

摘要：本发明涉及一种基于高温超导材料YBaCuO7‑x的悬臂梁结构SQUID显微镜及其制备方法，属于超导弱电应用的关键核心技术，涉及到量子磁成像、精密量子测量、高温超导等技术领域。本发明使用高温超导材料YBCO制备SOL扫描显微镜，使针尖SQUID扫描显微镜的工作温度提升到了77K，相比较传统的扫描针尖超导SQUID显微镜工作温度通常在6K以下，本发明突破了对超导相图探索的限制。

主权项：1.基于高温超导材料YBaCuO7-x的悬臂梁结构SQUID显微镜，其特征在于：包括非接触式AFM悬臂梁，在其顶面沉积有Au层作为电极，Au层中间开设有间隙，防止出现短路；所述非接触式AFM悬臂梁的尖端设有平台，在平台上安装NanoSQUID；所述NanoSQUID包括双晶衬底，在双晶衬底上沉积有SQUID环路阵列；每组SQUID环路由两组U型电极及连接两者的超导微桥组成，U型电极和超导微桥均由下层YBCO薄膜和上层Au薄膜组成，在超导微桥上开设有孔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工程大学 基于高温超导材料YBaCuO_7-x的悬臂梁结构SQUID显微镜及其制备方法

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