申请/专利权人：德克萨斯仪器股份有限公司

申请日：2017-08-14

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117612962A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;G01N21/95

优先权：["20160812 US 62/374,104","20170426 US 15/497,925"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本申请题为“用于自动视觉缺陷检查之后的电子裸片覆墨的系统和方法”。在提供半导体器件的方法1000A和具有用于执行该方法的指令的计算机可读介质中，该方法1000A包括接收1005第一晶圆缺陷图，其定义比较区域并标识晶圆的视觉缺陷位置。确定1010比较区域的格式，其中该格式选自包括裸片到裸片、部分镜头到部分镜头和全镜头到全镜头的组。如果比较格式不是裸片到裸片1015，则接收1020映射信息，其提供比较区域内的裸片位置。提供1025晶圆布局图，其标识晶圆内的裸片位置。

主权项：1.一种系统，其包括：处理器；以及存储器，其包括计算机程序指令，所述计算机程序指令在由所述处理器执行时促使所述系统：确定晶圆缺陷图的比较区域的格式，所述格式选自由部分镜头到部分镜头和全镜头到全镜头构成的组；接收提供所述比较区域内的裸片位置的映射信息；提供标识所述晶圆内的裸片边界和每个裸片的中心处的单个“缺陷”指示符的晶圆布局图；将所述晶圆布局图与晶圆缺陷图进行组合，以创建标识所述晶圆上的有缺陷裸片的有缺陷裸片图；以及将所述有缺陷裸片图转换为探针测试系统可用的格式，以形成具有预处理输出.PPO格式的文件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 德克萨斯仪器股份有限公司 用于自动视觉缺陷检查之后的电子裸片覆墨的系统和方法

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