申请/专利权人：云南润阳世纪光伏科技有限公司

申请日：2023-08-22

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN220537914U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/455;B08B5/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.27#授权

摘要：本实用新型提供了ALD理想主机台清理石墨载板风刀，并涉及半导体纳米薄膜沉积技术领域，包括：风刀支架，风刀通过风刀固定架安装于风刀支架上，风刀两端通过相同的气管接头与气管进行连通，气管通过三通阀与CDA输入主气管进行连通。本发明风刀采用制定钢管制成，通过气管接头，手阀，气管组成，安装简单方便，风刀两侧使用气管接头连接气管，两侧气管通过三通阀与CDA输入主气管连接，风刀下方根据石墨框尺寸分别开孔，使孔对准石墨框的中心位置，达到均匀清理的目的，通过控制手阀将CDA输入主气管，经过三通阀分流，分别从风刀两侧进入，并从风刀下方的若干个小孔吹出，以达到清理石墨载板的目的。

主权项：1.ALD理想主机台清理石墨载板风刀，其特征在于：包括：风刀支架1，风刀3通过风刀固定架2安装于风刀支架1上，风刀3两端通过相同的气管接头4与气管5进行连通，气管5通过三通阀6与CDA输入主气管8进行连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 云南润阳世纪光伏科技有限公司 ALD理想主机台清理石墨载板风刀

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