申请/专利权人：得八益十意恩至有限公司

申请日：2023-08-03

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117619816A

主分类号：B08B3/12

分类号：B08B3/12;H01L21/67;B08B13/00

优先权：["20220831 KR 10-2022-0110219"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：本发明涉及一种通过对于超音波清洗单元的清洗头的结构改善，能够提高整体性的基板清洗性能的改善清洗性能的超音波清洗单元，包括：驱动单元，其接收外部电源，使得内部的振动器发生振动；以及清洗头，其形成为从所述驱动单元的底部向下突出，与所述振动器声耦合而将高频率声波能量传送给基板上的清洗液，并且，在所述清洗头的底部表面的边缘包括具有与基板的外廓圆对应的曲率的弧线部分。

主权项：1.一种超音波清洗单元，其特征在于，包括：驱动单元，用于接收外部电源，并使得内部的振动器发生振动；以及清洗头，形成为从所述驱动单元的底部向下突出，与所述振动器声耦合而将高频率声波能量传送给基板上的清洗液，其中，在所述清洗头的底部表面的边缘包括形成为具有与所述基板的外廓圆对应的曲率的弧线部分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 得八益十意恩至有限公司 改善清洗性能的超音波清洗单元及包括其的基板清洗设备

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