申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-10-26

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117947387A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24

优先权：["20221027 KR 10-2022-0140398"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.30#公开

摘要：提供了沉积源和沉积装置。沉积源包括喷嘴构件、蒸发构件和连接构件。喷嘴构件包括本体部分、多个喷嘴和坩埚，本体部分包括形成为槽孔的至少一个第一孔，多个喷嘴联接到本体部分的第一表面并且将沉积材料喷射到外部，坩埚包括与至少一个第一孔重叠的至少一个第二孔并且通过插入至少一个第一孔和至少一个第二孔中的紧固构件联接到本体部分的第二表面。紧固构件包括螺栓、螺母和垫圈。蒸发构件与喷嘴构件间隔开并且存储沉积材料，并且连接构件连接喷嘴构件和蒸发构件。沉积材料通过连接构件移动。

主权项：1.一种沉积源，包括：喷嘴构件，所述喷嘴构件包括：本体部分，所述本体部分包括形成为槽孔的至少一个第一孔；多个喷嘴，所述多个喷嘴联接到所述本体部分的第一表面并且将沉积材料喷射到外部；以及坩埚，所述坩埚包括与所述至少一个第一孔重叠的至少一个第二孔并且通过插入所述至少一个第一孔和所述至少一个第二孔中的紧固构件联接到所述本体部分的第二表面，所述紧固构件包括螺栓、螺母和垫圈；蒸发构件，所述蒸发构件与所述喷嘴构件间隔开并且存储所述沉积材料；以及连接构件，所述连接构件连接所述喷嘴构件和所述蒸发构件，所述沉积材料通过所述连接构件移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 沉积源和包括沉积源的沉积装置

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