申请/专利权人：江苏海洋大学

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117641962A

主分类号：H10K39/30

分类号：H10K39/30;H10K30/65;H10K85/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：本发明公开了一种多波段超快CNTs‑G光探测器，基单元、紫外波段主单元、可见波段主单元、近红外波段主单元上均设有栅电极，所述栅电极的顶部设有介质层，所述介质层的顶部设有3DCNTs‑G复合物，采用3DCNTs‑G复合物为吸光材料及载流子的3D传输通道，并对CNTs‑G修饰不同波段光强吸收的纳米晶粒，以增大各波段吸收差异；再制备FET结构的紫外、可见、近红外波段选择性强吸收阵列单元，最后将各波段探测单元集成于同一硅衬底上，阵列式的多波段CNTs‑G光探测，可通过各波段强吸收主单元与基单元的探测差值，实现UV‑VIS‑NIR多波段高灵敏超快探测；通过栅压调控各主单元的探测开关，实现紫外、可见、近红外各波段的切换探测。

主权项：1.一种多波段超快CNTs-G光探测器，包括衬底1、基单元2、紫外波段主单元3、可见波段主单元4和近红外波段主单元5，其特征在于：所述基单元2、紫外波段主单元3、可见波段主单元4和近红外波段主单元5均设置在衬底1的顶部上，所述基单元2、紫外波段主单元3、可见波段主单元4、近红外波段主单元5上均设有栅电极24，所述栅电极24的顶部设有介质层23，所述介质层23的顶部设有3DCNTs-G复合物25，所述3DCNTs-G复合物25的顶部一端设有源极21，所述3DCNTs-G复合物25的顶部另一端设有漏极22，所述紫外波段主单元3、可见波段主单元4、近红外波段主单元5上的3DCNTs-G复合物25上均修饰有纳米晶粒。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏海洋大学 一种多波段超快CNTs-G光探测器

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