申请/专利权人:北京大学
申请日:2023-10-27
公开(公告)日:2024-03-05
公开(公告)号:CN117647564A
主分类号:G01N27/12
分类号:G01N27/12;C23C14/35;C23C14/04;C23C14/58
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.05#公开
摘要:本发明公开了一种基于磁控溅射气敏薄膜的单悬梁式气体传感器及其制造方法,属于微电子机械系统和气体检测技术领域。本发明提出将磁控溅射工艺制备的气敏薄膜与单悬梁式微热板集成,在实现小尺寸、低功耗的同时,与磁控溅射、图形化制备气敏薄膜的兼容性较好,具有可批量、可重复性好、气敏薄膜结构和成分均匀可控的优势;采用加热电极和测量电极共面设计,提高了生产效率,降低制造成本。
主权项:1.一种基于磁控溅射气敏薄膜的单悬梁式气体传感器,其特征在于,包括单悬梁式MEMS微热板和磁控溅射工艺制备的气敏薄膜;单悬梁式MEMS微热板包括支撑膜、加热电极、测量电极,加热电极和测量电极采用共面设计;气敏薄膜由磁控溅射工艺制备。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 北京大学 一种基于磁控溅射气敏薄膜的单悬梁式气体传感器及其制造方法
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