申请/专利权人：艾感科技(广东)有限公司

申请日：2023-11-22

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117607218A

主分类号：G01N27/12

分类号：G01N27/12

优先权：["20230223 CN 2023101581769"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明涉及一种高热效率气体传感器悬梁结构制备方法及系统，系统包括悬梁结构，尤其适用于高热效率的传感器，悬梁结构包括：用于提供支撑的非感测区域和用于支撑感测区域的若干个悬梁，感测区域能够借助悬梁与非感测区域连接，确定形状的悬梁被确定排布方向以在感测区域和非感测区域间形成绝热区域并由此定义被配置用于绝热的绝热区域的形貌特征；制造方法包括以下步骤：形成基片，基片配置有用于检测气体的感测层、用于检测感测层变化的检测电极、用于加热的加热电极以及用于支承的绝缘层；在基片上形成多个绝热区域进而定义在非感测区域和感测区域之间延伸的若干个悬梁，悬梁被配置为能够降低热传导地连接至第三区域和所述第二区域。

主权项：1.一种气体传感器悬梁结构，尤其适用于高热效率的传感器，包括：用于提供支撑的非感测区域1和用于支撑感测区域2的若干个悬梁3，所述感测区域2能够借助所述悬梁3与所述非感测区域1连接，其特征在于，确定形状的所述悬梁3被确定排布方向以在所述感测区域2和所述非感测区域1间形成绝热区域4并由此定义被配置用于绝热的绝热区域4的形貌特征。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾感科技(广东)有限公司 一种高热效率气体传感器悬梁结构制备方法及系统

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