申请/专利权人：艾感科技(广东)有限公司

申请日：2023-11-16

公开（公告）日：2024-02-02

公开（公告）号：CN117491437A

主分类号：G01N27/12

分类号：G01N27/12

优先权：["20230223 CN 2023101581769"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开

摘要：一种基于三悬梁结构的高灵敏度微结构式气体传感器，包括设置有气敏材料的中置区域，中置区域依靠三个悬梁连接至其周围的基底层，除依靠悬梁连接之外，中置区域不与其周边的基底层接触，悬梁构建为多孔结构，悬梁具备连接至中置区域的第一端和连接至基底层的第二端，其中，悬梁是按照沿第一端至第二端逐渐变化孔径以及孔间距的方式设置的。

主权项：1.一种基于三悬梁结构的高灵敏度微结构式气体传感器，包括设置有气敏材料的中置区域210，所述中置区域210依靠三个悬梁220连接至其周围的基底层200，除依靠所述悬梁220连接之外，所述中置区域210不与其周边的基底层200接触，其特征在于，所述悬梁220构建为多孔结构，所述悬梁220具备连接至所述中置区域210的第一端和连接至所述基底层200的第二端，其中，所述悬梁220是按照沿第一端至第二端逐渐变化孔径以及孔间距的方式设置的。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾感科技(广东)有限公司 一种基于三悬梁结构的高灵敏度微结构式气体传感器

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD