申请/专利权人:甬江实验室
申请日:2023-11-28
公开(公告)日:2024-03-08
公开(公告)号:CN117664915A
主分类号:G01N21/41
分类号:G01N21/41;G06F30/20;G06F30/17;G16C60/00;G01N21/01
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开
摘要:本发明公开了基于空腔截锥体结构的气体传感器,包括衬底,和位于衬底上表面的多个阵列排列的空腔截锥体结构;空腔截锥体结构包括从上至下依次设置的上截锥体结构、开口圆环结构和下截锥体结构。在提高气体传感器灵敏度的同时,实现高质量因子和高品质系数。
主权项:1.基于空腔截锥体结构的气体传感器,其特征在于,包括衬底,和位于所述衬底上表面的多个阵列排列的空腔截锥体结构;所述空腔截锥体结构包括从上至下依次设置的上截锥体结构、开口圆环结构和下截锥体结构。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 甬江实验室 基于空腔截锥体结构的气体传感器及仿真方法
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