申请/专利权人：微芯片技术股份有限公司

申请日：2022-06-24

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN117678066A

主分类号：H01L23/522

分类号：H01L23/522;H10N97/00

优先权：["20211227 US 63/293,946","20220518 US 17/747,302"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：一种金属‑绝缘体‑金属MIM电容器，该MIM电容器包括底部电极杯、绝缘体和顶部电极。该底部电极杯包括横向延伸的底部电极杯基座和从该横向延伸的底部电极杯基座向上延伸的底部电极杯侧壁。该绝缘体包括形成在由该底部电极杯限定的开口中的绝缘体杯和从该绝缘体杯横向向外延伸并向上弯曲的圆形绝缘体凸缘，该圆形绝缘体凸缘覆盖该底部电极杯侧壁的上部表面。该顶部电极形成在由该绝缘体杯限定的开口中。该顶部电极通过该圆形绝缘体凸缘与该底部电极杯侧壁的该上部表面绝缘。

主权项：1.一种金属-绝缘体-金属MIM电容器模块，所述MIM电容器模块包括：底部电极杯，所述底部电极杯包括：横向延伸的底部电极杯基座；和底部电极杯侧壁，所述底部电极杯侧壁从所述横向延伸的底部电极杯基座向上延伸；绝缘体，所述绝缘体包括：绝缘体杯，所述绝缘体杯形成在由所述底部电极杯限定的开口中；和圆形绝缘体凸缘，所述圆形绝缘体凸缘从所述绝缘体杯横向向外延伸并向上弯曲，所述圆形绝缘体凸缘覆盖所述底部电极杯侧壁的上部表面；和顶部电极，所述顶部电极形成在由所述绝缘体杯限定的开口中，并且其中所述顶部电极通过所述圆形绝缘体凸缘与所述底部电极杯侧壁的所述上部表面绝缘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 微芯片技术股份有限公司 包括具有圆形角区的杯形结构的金属-绝缘体-金属(MIM)电容器模块

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