申请/专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司

申请日：2023-10-20

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN117661097A

主分类号：C30B15/10

分类号：C30B15/10;C30B29/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明提供了一种用于拉制高品质硅棒的坩埚及方法，所述坩埚由掺杂处理后的石英砂经过电弧法制得；掺杂处理后的石英砂纯度在99.999％以上，掺杂处理后的石英砂掺杂成分包括二氧化锰和钌；以掺杂处理后的石英砂总质量按100％计，二氧化锰的掺杂量在0.91ppm‑1.09ppm范围内，钌的掺杂量在0.01ppm‑0.14ppm范围内；相较于现有技术，本发明通过新增二氧化锰和钌作为石英坩埚的原辅材料，二氧化锰在高温环境下会生成中间反应物一氧化锰和氧气,氧气在氩气的吹拂下被带出炉内，降低了含氧元素反应物的分凝系数，从而减少坩埚中硅溶液的氧含量，进而提高了硅棒的长晶品质，提升单晶硅棒的导电性能。

主权项：1.一种用于拉制高品质硅棒的坩埚，其特征在于：所述坩埚由掺杂处理后的石英砂经过电弧法制得；掺杂处理后的石英砂纯度在99.999％以上，掺杂处理后的石英砂掺杂成分包括二氧化锰和钌；以掺杂处理后的石英砂石总质量按100％计，二氧化锰的掺杂量在0.91ppm-1.09ppm范围内，钌的掺杂量在0.01ppm-0.14ppm范围内。

全文数据：

权利要求：

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