申请/专利权人：正泰新能科技股份有限公司

申请日：2024-01-31

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN117673206A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/068

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明提供了一种BC电池的制备方法，首先在硅衬底背面形成P区和N区，然后在硅衬底表面形成热氧化层，再使用链式氢氟酸法去除硅衬底正面的热氧化层，然后在第一碱液中进行处理，去除硅衬底正面的多晶硅层及隧穿氧化层，再在氧化液中进行处理在硅衬底正面形成氧化硅层，最后在第二碱液中进行处理，在硅衬底正面形成绒面；正面制绒后，在硅衬底的正面和背面镀膜、制备金属栅线，得到BC电池。本申请提供的方法减少了硝酸的使用，保证BC电池性能的基础上，提高了良品率，降低了制备成本，且无硝酸排放。

主权项：1.一种BC电池的制备方法，其特征在于，包括：在硅衬底背面形成P区和N区；在硅衬底表面形成热氧化层；使用链式氢氟酸法去除硅衬底正面的热氧化层，然后在第一碱液中进行处理，去除硅衬底正面的多晶硅层及隧穿氧化层，再在氧化液中进行处理在硅衬底正面形成氧化硅层，最后在第二碱液中进行处理，在硅衬底正面形成绒面；正面制绒后，在硅衬底的正面和背面镀膜、制备金属栅线，得到BC电池。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 正泰新能科技股份有限公司 一种BC电池的制备方法

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