申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司

申请日：2023-12-08

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN117663795A

主分类号：F27D7/06

分类号：F27D7/06;F27D19/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明公开了一种ITO靶材烧结炉气氛控制系统，涉及靶材制造技术领域，解决了现有技术难以保证烧结炉内的气氛压力、气氛稳定性以及准确识别各影响因素之间的耦合影响，导致无法获取高质量ITO靶材的技术问题；本发明先通过获取的气氛数据构建烧结炉内的气氛分布图，与对应烧结阶段的标准气氛图进行比较来识别出异常区域；有助于提高异常区域对应区域特征的识别准确性，为后续的气氛控制调节奠定数据基础；之后，本发明会将区域特征与气氛调节模型结合确定气氛调节序列，再结合当前烧结阶段烧结炉内的标准压力来进行气氛调节；保证在对应烧结阶段内气氛成分稳定且满足要求，提高ITO靶材烧结质量。

主权项：1.一种ITO靶材烧结炉气氛控制系统，包括中枢控制模块，以及与之相连接的数据传感器和气氛控制模块；其特征在于：中枢控制模块：通过数据传感器采集ITO靶材烧结炉内的气氛数据，基于气氛数据构建气氛分布图，结合当前靶材烧结阶段的标准气氛图识别气氛分布图中的异常区域；其中，气氛数据包括采集位置、气氛压力和氧气浓度；以及，基于异常区域的区域特征构建气氛评估序列；基于人工智能模型构建气氛调节模型，将气氛评估序列输入至气氛调节模型，得到气氛调节序列；其中，区域特征包括区域位置、区域体积、压力数据和氧气数据，气氛调节序列包括混合气体体积、混合气体的成分比例和排出气体体积；气氛控制模块：根据ITO靶材烧结炉内标准压力和气氛调节序列模拟确定气氛控制序列；根据气氛控制序列控制ITO靶材烧结炉内的气氛；其中，气氛控制序列包括混合气体的输入流量和时间范围，以及排气流量和对应的时间范围。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种ITO靶材烧结炉气氛控制系统

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