申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2019-08-23

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN110858555B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;C23C16/455;C23C16/458

优先权：["20180824 JP 2018-157709"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.08#授权;2020.03.27#实质审查的生效;2020.03.03#公开

摘要：一种基板搬送模块和基板搬送方法。本公开的模块具备：设置于壳体的侧壁的第一基板搬送口和第二基板搬送口；载入埠，其将由容器主体和盖体构成并且用于保存基板的搬送容器的所述容器主体，以使在所述容器主体开口的基板取出口的口缘部与第一基板搬送口的口缘部密合的方式连接于壳体的侧壁，通过针对容器主体拆装盖体来进行基板取出口的打开和关闭以及第一基板搬送口的打开和关闭；对壳体内进行排气的排气机构；吸引孔，其在壳体内的、在第一基板搬送口与第二基板搬送口之间搬送的所述基板的搬送路径的上方开口，用于吸引所述壳体内的气氛；以及检测部，其检测被吸引的气氛中的、从在搬送路径移动的基板释放出的气体所含有的成分。

主权项：1.一种基板搬送模块，具备：壳体；第一基板搬送口，其设置于所述壳体的侧壁；开闭自如的第二基板搬送口，其设置于所述壳体的侧壁，以在设置于所述壳体的外侧的模块与所述壳体内之间搬送基板；多个载入埠，其将由容器主体和盖体构成并且用于保存所述基板的搬送容器的所述容器主体，以使在该容器主体开口的基板取出口的口缘部与所述第一基板搬送口的口缘部密合的方式连接于所述壳体的侧壁，通过针对所述容器主体拆装所述盖体来进行所述基板取出口的打开和关闭以及所述第一基板搬送口的打开和关闭；搬送机构，其设置于所述壳体内，用于在所述第一基板搬送口与所述第二基板搬送口之间搬送基板；清洁气体供给部，其向所述壳体内供给清洁的气体；排气机构，其对所述壳体内进行排气；吸引孔，其在所述壳体的侧壁的所述第一基板搬送口的上方开口；泵，其用于经由所述吸引孔来吸引所述壳体内的气氛；以及检测部，其检测在所述基板通过所述第一基板搬送口时的被所述泵吸引的所述气氛中的、从移动的所述基板释放出的气体所含有的成分，沿横向设置有多个所述第一基板搬送口，设置有多个所述吸引孔，多个所述吸引孔分别位于多个所述第一基板搬送口的上方，沿横向等间隔地设置多个所述吸引孔，并且多个所述吸引孔位于彼此相同的高度，针对每个所述吸引孔设置所述泵，以向所述检测部分别供给从由所述搬送机构向多个所述第一基板搬送口的各第一基板搬送口搬送的、温度比所述壳体内的温度高的所述基板释放出的气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板搬送模块和基板搬送方法

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