申请/专利权人：北京理工大学

申请日：2022-05-25

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN114770224B

主分类号：B23Q17/24

分类号：B23Q17/24;B23Q17/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.08#授权;2022.08.09#实质审查的生效;2022.07.22#公开

摘要：本发明涉及超精密加工领域，公开一种超精密加工刀痕在位检测方法。该检测方法包括以下步骤：步骤一，加工表面形貌，对设置于机床主轴上的工件的加工表面进行超精密单点金刚石加工；步骤二，测量反射光谱，设置反射光谱仪，并使反射光谱仪发射的光束垂直射入加工表面，以获得反射光谱；步骤三，拟合判断，根据反射光谱，拟合计算出加工表面刀痕的几何信息，并根据几何信息判断加工表面是否满足加工需求。该检测方法无需取下工件，即可对工件进行检测，且属于非接触式检测，有效避免了加工表面损伤。另外，该检测方法直接从光学效果出发，建立反射光谱与表面刀痕的耦合关系，并进行解耦分析刀痕几何参数，普遍适用于工件表面的刀痕检测。

主权项：1.一种超精密加工刀痕在位检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，加工表面形貌，对设置于机床主轴上的工件的加工表面进行超精密单点金刚石加工；步骤二，测量反射光谱，设置反射光谱仪，并使所述反射光谱仪发射的光束垂直射入所述加工表面，以获得所述反射光谱；步骤三，拟合判断，根据所述反射光谱，拟合计算出所述加工表面刀痕的几何信息，并根据所述几何信息判断所述加工表面是否满足加工需求；在所述步骤三中，刀痕层引起实际反射光谱具有周期性的波动，谱线的振幅与刀痕宽度有关，谱线的周期与刀痕深度有关，根据菲涅尔公式和光学传递矩阵计算等效光学模型反射光谱得到波数与反射率对应的理论反射光谱，将实际反射光谱与理论反射光谱进行拟合，根据误差获得刀痕的深度及宽度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京理工大学 一种超精密加工刀痕在位检测方法

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