申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-01-30

公开（公告）号：CN117470130A

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24;G06F17/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本发明涉及刀痕面形评价技术领域，尤其涉及一种磁流变抛光元件表面刀痕质量的定性评价方法。包括：采集或计算磁流变抛光元件的刀痕面形数据；根据平面光入射公式计算从磁流变抛光元件返回引入的光程差；将干涉仪与磁流变抛光元件作为整体，令常数振幅，计算复瞳函数，根据夫琅禾费衍射公式求解预测光强；对夫琅禾费衍射公式中的和以及x和y分别进行离散化；使用fftshift函数将零频移到视野中心，得到零频中心化预测光强和零频中心化增强光强，将零频中心化增强光强的星点图像作为评价指标评价刀痕面形吻合度。优点在于：快速评价表面刀痕，建立完整的虚拟元件加工与检测评价链路，具有重复性，精确控制表面质量。

主权项：1.一种磁流变抛光元件表面刀痕的质量评价方法，其特征在于，具体包括如下步骤：S1.采集或计算磁流变抛光元件的刀痕面形数据，获得面形矩阵；S2.根据平面光入射公式计算从所述磁流变抛光元件返回引入的光程差： ；其中，OPD是光程差，n是折射率，是波矢量，r是空间路程；令n=1；S3.将干涉仪与所述磁流变抛光元件作为整体，令常数振幅，入射光强为，则复瞳函数表达式如下： ；根据夫琅禾费衍射公式求解预测光强，表达式如下： ；夫琅禾费衍射公式忽略相位因子表达式为： 其中，是在复瞳函数后传播距离为z处的振幅分布，是复瞳面处的坐标；是有效衍射区域；S4.对所述夫琅禾费衍射公式中的和以及x和y分别进行离散化；S5.使用fftshift函数将0频移到视野中心，得到零频中心化的预测光强和零频中心化的增强光强，将所述零频中心化的增强光强作为评价指标，评价刀痕面形吻合度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种磁流变抛光元件表面刀痕质量的定性评价方法

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