申请/专利权人：厦门普诚半导体科技有限公司

申请日：2024-01-25

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN117680389A

主分类号：B07C5/34

分类号：B07C5/34;B07C5/36;B07C5/38

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆NG挑选机，包括机架，所述机架上安装有底座，所述底座的两个立柱之间的横梁上安装有二轴移动模组，所述二轴移动模组的动力输出端侧板上固定安装有用于拍照的拍照组件，以及用于挑选的晶圆挑选装置和用于实时放大的显微组件，所述底座上表面安装设置有移动载台。通过二轴移动模组带动拍照组件移动至移动载台的上方对切割好的晶圆进行拍照，并通过处理器将得到的照片进行检测分析，从而判断次品晶圆和良品晶圆，判定后在显微组件实时放大的同时通过晶圆挑选装置对次品晶圆进行挑选，将次品晶圆挑选出去，与现有的人工用显微镜进行挑选的方式相比，效率更高，更加准确。

主权项：1.一种晶圆NG挑选机，包括机架（1），所述机架（1）上安装有底座（2），其特征在于：所述底座（2）的两个立柱之间的横梁上安装有二轴移动模组（3），所述二轴移动模组（3）的动力输出端侧板上固定安装有用于拍照的拍照组件（4），以及用于挑选的晶圆挑选装置（5）和用于实时放大的显微组件（6），所述晶圆挑选装置（5）包括用于晶圆挑选的挑针（54），所述底座（2）上表面安装设置有移动载台（7）；所述晶圆挑选装置（5）包括固定安装在二轴移动模组（3）动力输出端的微调位移平台（51），所述微调位移平台（51）上安装有挑选组件，所述挑选组件包括所述微调位移平台（51）动力输出端固定安装的挑选座（52），所述挑选座（52）内部交叉开设有安装孔（53）和吸取孔（55），所述安装孔（53）内部设置有挑针（54），所述吸取孔（55）外端部安装有吸取管（56），且吸取管（56）通过气管连接有存储装置（57）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门普诚半导体科技有限公司 一种晶圆NG挑选机

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