申请/专利权人：上海矽皓精密设备技术有限公司

申请日：2023-08-07

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN220582934U

主分类号：F26B3/30

分类号：F26B3/30;F26B9/10;F26B25/08;F26B25/00;G05D23/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.12#授权

摘要：本实用新型公开了一种红外辐射干燥槽体，属于硅片生产技术领域，其技术要点是：包括外槽，所述外槽内设置有内槽，所述内槽活动连接所述外槽，还包括：红外线加热灯管，所述红外线加热灯管设置在所述内槽内，所述红外线加热灯管关于所述内槽对称设置，所述红外线加热灯管固定连接所述内槽；石英板，所述石英板设置在所述内槽四周，所述石英板设置有四组，所述石英板活动连接所述外槽，所述石英板的内侧设置有石英管；固定面，所述固定面设置在所述石英板一侧，所述石英板固定连接所述固定面，具有保证现场的安全，降低电气风险的优点。

主权项：1.一种红外辐射干燥槽体，包括外槽，所述外槽内设置有内槽，所述内槽活动连接所述外槽，其特征在于，还包括：红外线加热灯管，所述红外线加热灯管设置在所述内槽内，所述红外线加热灯管关于所述内槽对称设置，所述红外线加热灯管固定连接所述内槽，所述内槽的底部设置有出风口；石英板，所述石英板设置在所述内槽四周，所述石英板设置有四组，所述石英板活动连接所述外槽，所述石英板的内侧设置有石英管；固定面，所述固定面设置在所述石英板一侧，所述石英板固定连接所述固定面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海矽皓精密设备技术有限公司 一种红外辐射干燥槽体

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