申请/专利权人：乐金显示光电科技(中国)有限公司

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727661A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;G05D23/30

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种槽体的恒温调节方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：查询向各种蚀刻设备或剥离设备提供溶液的槽体；槽体配置有用于调节温度的制程冷却水系统与多个加热器；在槽体运行的温度恒定时，查询制程冷却水系统的原始流量与多个加热器的原始数量；在加热器的原始数量不变时，将制程冷却水系统的原始流量下调至目标流量、以维持槽体运行的温度恒定；在制程冷却水系统的目标流量不变时，将加热器的原始数量下调至目标数量、以维持槽体运行的温度恒定。提高制程冷却水系统与加热器的协同控制、降低性能外溢，同时，最大化地降低整体恒温控制的能耗，大大降低了生产成本，保持槽体运行的温度恒定，从而保证了产品的良率。

主权项：1.一种槽体的恒温调节方法，其特征在于，包括：查询向各种蚀刻设备或剥离设备提供溶液的槽体；所述槽体配置有用于调节温度的制程冷却水系统与多个加热器；在所述槽体运行的温度恒定时，查询所述制程冷却水系统的原始流量与多个所述加热器的原始数量；在所述加热器的原始数量不变时，将所述制程冷却水系统的原始流量下调至目标流量、以维持所述槽体运行的温度恒定；在所述制程冷却水系统的目标流量不变时，将所述加热器的原始数量下调至目标数量、以维持所述槽体运行的温度恒定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 乐金显示光电科技(中国)有限公司 一种槽体的恒温调节方法、装置、设备及存储介质

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