申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117704960A

主分类号：G01B9/02004

分类号：G01B9/02004;G01B9/02055;G01B9/02056

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明提出一种准共光程外差光栅干涉仪及其死区光程评估、标校方法，包括双频激光产生单元、第一激光传输光路、第二激光传输光路、第一光电探测器、第二光电探测器：双频激光产生单元用于输出频率为f0+f1的第一激光和频率为f0+f2的第二激光；第一激光、第二激光分别经第一激光传输光路、第二激光传输光路投射到反射光栅的同一位置上；在独立外差激光输入的基础上，采用对称斜入射结构实现第一激光传输光路、第二激光传输光路准共光程设计，融合准共光程和空间分离外差结构的优点，并在亚纳米水平上评估了死区光程对位移测量的影响。进一步使本发明在保持高分辨率、可重复性和长期稳定性的同时，将周期性非线性误差降至亚纳米以下。

主权项：1.准共光程外差光栅干涉仪，其特征在于，包括双频激光产生单元、第一激光传输光路、第二激光传输光路、第一光电探测器、第二光电探测器：双频激光产生单元用于输出频率为f0+f1的第一激光和频率为f0+f2的第二激光，其中频率为f0的激光经分束、调频后得到频率为f0+f1的第一激光和频率为f0+f2的第二激光，f1、f2分别为对应调制的频移；第一激光经第一激光传输光路的分束器件分为第一测量光束和第一参考光束，第二激光经第二激光传输光路的分束器件分为第二测量光束和第二参考光束，第一测量光束、第二测量光束分别经对应的测量光传输光路投射到反射光栅的同一位置上，所述第一光电探测器用于接收来自反射光栅的反射光即测量光束；第一参考光束和第二参考光束经对应的参考光传输光路传输至第二光电探测器，由所述第二光电探测器接收参考光束；第一测量光束对应的测量光传输光路和第一参考光束对应的参考光传输光路的总光程与第二测量光束对应的测量光传输光路和第二参考光束对应的参考光传输光路的总光程为准共光程。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 准共光程外差光栅干涉仪及其死区光程评估、标校方法

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