申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司

申请日：2024-02-08

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117891142A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;B25B11/00

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明提供一种光栅夹持工装及夹持方法，涉及光刻技术领域。该光栅夹持工装包括夹持组件，夹持组件包括基板，基板的板面沿X向相对的两侧区域均设有条形口，且各条形口均沿X向延伸；基板的第一板面设有调节部件，调节部件的调节端连接有连接臂，连接臂的夹持端设有夹持头，各连接臂一一对应穿过相应的条形口伸出基板的第二板面，夹持头配置为在调节部件的调节下朝向或背离目标光栅移动以卡入或脱离位于目标光栅侧壁的第一卡槽。该光栅夹持工装能够减少夹持及放置目标光栅的过程中对其造成的碰撞损坏，从而确保目标光栅的测量精度及使用寿命。

主权项：1.一种光栅夹持工装，其特征在于，包括夹持组件10，所述夹持组件10包括基板100，所述基板100的板面沿X向相对的两侧区域均设有条形口110，且各所述条形口110均沿X向延伸；所述基板100的第一板面120设有调节部件200，所述调节部件200的调节端连接有连接臂310，所述连接臂310的夹持端设有夹持头320，各所述连接臂310一一对应穿过相应的所述条形口110伸出所述基板100的第二板面130，所述夹持头320配置为在所述调节部件200的调节下朝向或背离目标光栅20移动以卡入或脱离位于目标光栅20侧壁的第一卡槽21。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 光栅夹持工装及夹持方法

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