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【发明公布】一种单晶炉副室单独检漏装置_乌海市京运通新材料科技有限公司_202311762465.6 

申请/专利权人:乌海市京运通新材料科技有限公司

申请日:2023-12-20

公开(公告)日:2024-03-15

公开(公告)号:CN117705380A

主分类号:G01M3/26

分类号:G01M3/26

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要:本发明公开了一种单晶炉副室单独检漏装置,具体涉及单晶炉检漏技术领域,主要包括导向框板,在导向框板的一侧且靠近其顶端位置处固定连接有连接支块,连接支块的一端部固定连接有单晶炉副室,其中导向框板的内部安装有精确检测组件;精确检测组件包括安装在导向框板内部的联动螺杆。本发明采用精确检测组件使减速驱动电机带动联动螺杆在导向框板内部旋转,二维码扫描传感器上移到压力发生波动的检测压力传感器位置处,螺纹套接支块带动套接支板在使二维码扫描传感器在两个二维码感应块之间位置进行移动传感,能够提示前来维修的人员单晶炉副室泄漏位置,检漏精确性有效提高。

主权项:1.一种单晶炉副室单独检漏装置,包括导向框板(1),所述导向框板(1)的一侧且靠近其顶端位置处固定连接有连接支块(2),所述连接支块(2)的一端部固定连接有单晶炉副室(3),其特征在于:所述导向框板(1)的内部安装有精确检测组件;所述精确检测组件包括安装在导向框板(1)内部的联动螺杆(4),所述联动螺杆(4)的外壁设有与导向框板(1)竖向滑动连接的螺纹套接支块(5),在所述螺纹套接支块(5)的一侧焊接有套接支板(6),所述套接支板(6)的内部固定连接有二维码扫描传感器(7),在所述二维码扫描传感器(7)的一侧设有多个二维码感应块(8),所述二维码感应块(8)的一侧固定连接有汇集管(10),所述套接支板(6)的外壁且位于二维码扫描传感器(7)相邻一侧固定连接有警报灯(9);所述汇集管(10)与单晶炉副室(3)之间安装有均匀检测组件;所述导向框板(1)的一侧固定安装有报警消除组件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 乌海市京运通新材料科技有限公司 一种单晶炉副室单独检漏装置

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