申请/专利权人：甘肃省科学院传感技术研究所

申请日：2023-12-12

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117705891A

主分类号：G01N27/12

分类号：G01N27/12;B81C1/00

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.15#公开

摘要：本发明公开了一种MEMS工艺的NOx基气体传感器测试方法，涉及传感器技术领域。包括以下测试方法：S1、模拟实验：根据气体传感器的要求和应用场景，利用计算机辅助设计软件对传感器进行模拟实验，制定模拟实验场景，模拟内容主要有：针对MEMS气体传感器的性能测试、不同环境下的温湿度测试、对传感器的输出进行校准和线性化测试、传感器稳定性测试；S2、芯片制备：采用MEMS技术制备传感器芯片，包括气体敏感层、微加工结构和传感电极。通过结合了微纳加工技术和传感器原理，实现了高度集成化、小型化和高灵敏度的气体传感器，与传统的基于化学反应的气体传感器相比，本发明具有灵敏度高、响应时间短、成本低的优势，适用于多种应用场景。

主权项：1.一种MEMS工艺的NOx基气体传感器测试方法，其特征在于：包括以下测试方法：S1、模拟实验：根据气体传感器的要求和应用场景，利用计算机辅助设计软件对传感器进行模拟实验，制定模拟实验场景，模拟内容主要有：针对MEMS气体传感器的性能测试、不同环境下的温湿度测试、对传感器的输出进行校准和线性化测试、传感器稳定性测试；S2、芯片制备：采用MEMS技术制备传感器芯片，包括气体敏感层、微加工结构和传感电极；S3、驱动电路设计：设计和制作传感器驱动电路，包括稳定的工作电压和时钟信号发生器；S4、数据处理模块设计：设计和构建数据处理模块，用于接收和处理传感器输出的电信号，并进行气体浓度计算和显示；S5、测试优化：对制作完成的传感器进行测试和优化，验证其灵敏度、精度和功耗等性能指标。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 甘肃省科学院传感技术研究所 一种MEMS工艺的NOx基气体传感器测试方法

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