申请/专利权人：北京科技大学;河南飞孟金刚石股份有限公司

申请日：2023-12-26

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117702092A

主分类号：C23C16/511

分类号：C23C16/511

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：一种双椭球腔式微波等离子体化学气相沉积装置，属于微波等离子体法化学气相沉积领域。装置包括：微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、同轴线模式转换器、不锈钢微波谐振腔外壳、平板石英窗、观察窗口、测温窗口、进气口、排气口、可升降式衬底台结构。微波谐振腔由从上至下分别由两个不同大小的椭球结构组成，其中上椭球结构的上焦点与同轴天线位置重合，上椭球结构下焦点与下椭球的上焦点位置重合，而下椭球结构下焦点与衬底台位置重合。平板石英窗安置于下椭球结构上焦点的下方。可升降式衬底台结构可上下运动。本装置主要用于制备单晶金刚石和多晶金刚石膜，可实现高功率、高腔压下金刚石单晶或大面积薄膜的高质量均匀沉积。

主权项：1.一种双椭球腔式微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：包括微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、同轴线模式转换器、不锈钢微波谐振腔外壳、平板石英窗、观察窗口、测温窗口、进气口、排气口、可升降式衬底台结构；所述不锈钢微波谐振腔为双椭球腔式结构，平板石英窗安置于下椭球结构上焦点的下方，进气口位于平板石英窗下方，排气口位于可升降式衬底台结构边缘处；可升降式衬底台结构可上下运动，用于微波电场及等离子体的实时调谐。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京科技大学;河南飞孟金刚石股份有限公司 一种双椭球腔式微波等离子体化学气相沉积装置

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