申请/专利权人：烟台大学

申请日：2021-11-19

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN114086138B

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/16;C23C14/54;C22C14/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权;2024.02.09#著录事项变更;2022.03.15#实质审查的生效;2022.02.25#公开

摘要：一种α‑CNxFe纳米复合涂层的制备方法，涉及一种CNx基纳米复合涂层的制备方法。本发明的目的是通过催化生成自润滑的洋葱碳摩擦膜，进而改善α‑CNx基纳米涂层的摩擦学性能。本发明提供了一种CNx基纳米复合涂层材料，包括碳元素、铁元素和氮元素。本发明通过带有催化活性的延性Fe元素的引入，原位自组装形成了自润滑的洋葱碳摩擦膜，并且实现了对CNx基涂层微观结构的调控，提高了涂层的致密度，大大降低了涂层摩擦系数，提高了所述涂层的摩擦磨损性能，改善了CNx基涂层的强韧性，实现了CNxFe纳米复合涂层的可控生长。

主权项：1.一种α-CNxFe纳米复合涂层的制备方法，其特征在于α-CNxFe纳米复合涂层的制备方法是按以下步骤进行的：一、依次选用无水乙醇、丙酮和去离子水将衬底进行超声清洗，各清洗25min，最后将衬底置于干燥箱中在60℃干燥；所述的衬底为合金Ti-6Al-4V；二、将步骤一中清洗和烘干后的衬底放入磁控溅射装置的真空腔体中，将石墨靶材和Fe3C靶材安装在磁控溅射装置的靶位上，靶材和衬底的距离为12cm，通过机械泵和涡轮分子泵对腔体抽真空至真空度为1×10-4Pa；三、向腔体中通入Ar和N2的混合气体作为溅射气体，调节腔体中的工作压强为0.8Pa；石墨靶采用直流电流，设定石墨靶的溅射电流为0.5A；Fe3C靶采用射频电流，Fe3C的射频功率为40W，设定沉积温度为600℃；两个靶材同时开始溅射，两个靶材的溅射厚度相等，均为1μm；所述的Ar的流速为60sccm；所述的N2的流速为20sccm；四、溅射结束后，将腔体冷却至室温，得到α-CNxFe涂层；所述的α-CNxFe涂层的摩擦系数为0.18。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 烟台大学 一种α-CN_x/Fe纳米复合涂层的制备方法

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